某半导体行业加工各个企业因晶圆的清洗工艺引起含氨污水,发电量200吨/天。污自来水中除氧化还原电位外还带有氟化物和轻微巨资属,补救麻烦大。偏远地区排放物规定想要氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废污水成分表及特征
晶圆清洁废污水(主要的起源):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工作工业废水:含氢化物发生器铜、镍等血本属,pH值上下波动大
CMP磨研污废水 :含硅颗料及氯离子
解决制作工艺工艺设计
选择"电化学沉垫+膜脱离+折点氯化"组合式施工工艺:
预加工处理
:污泥脱水CaCl2除氟,操控pH在7.5-8.
反渗透装置操作系统
:清掉0.01μm以上的颗粒状物
反渗浸提
:将高锰酸盐指数浸提至1000mg/L之内
折点氯化
:明确操控氯污泥脱水量,将氯离子有效的转化为氢气
阴阳离子交換
:后勤保障天价属未达标
最终能够感觉
挥发酚安稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属含水量如果低于查重限
水回收率达75%
污泥处理形成量减轻40%