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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体设备电源芯片制作厂在晶圆制作过程中中,采用硅烷开始硅外加发展,汽车尾气洗衣塔生产高浓硫酸浓度含硅生产工业废水。生产工业废水还具有pH波动性大(2-11)、硅含量的高的特色,传统的正确处理方法步骤易存在硅垢不通问題。 电镀废水组分及因素 废气包括组分为: 容解性硅酸盐 :SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢空气氧化钠 :清洗剂塔酸碱性清洗剂液残余 颗料硅 :奈米级SiO₂固体 痕量砷 :材质悬浮物带进去 处里制作工艺流量 不断创新选择"多级结合+膜过滤系统+蒸馏心得"工序: 五级结合 :用CaO控制pH至4-5,转换硅酸钙沉淀出的,硅清理率60%。 下级结合 :加Na₂CO₃将pH提高至9,进一个步骤沉淀物中结余硅,并接用镁剂除砷。 反渗透装置系統 :0.02μm陶瓷制品膜滤出奈米级硅科粒,通量稳定可靠在80LMH。 MVR蒸馏器 :沉淀高盐污水,成果出Na₂SO₄副企业产品,水工业废水处理率超90%。 最终能够特效 总硅从1500mg/L减至5mg/L接下来 砷占比从0.8mg/L下降0.01mg/L 模式无结渣电脑运行高达2年 年均收废硫酸钠钠尖晶石约800吨

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