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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆生产加工线服务设施的超净水系统软件,每周出现含硅废水处理方法150吨。废水处理方法中虽无高价属,但硅硫含量高易结渣,且电阻值率需可达18MΩ·cm就要回收。原来的处理工学艺没有办法够满足新废止的《光电子行业水污染破坏物产生标》(GB39731-2020)非常产生卫生防护距离。 废渣物质特别 首要生态破坏物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、粒状硅(颗粒直径0.1-1μm) 特别规范要求 :TOC<10μg/L,硼分量<5μg/L 水环境性状 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅单质状态复杂化 处里加工的流程 创新技术进行"梯级膜分割+电去正离子"结构艺: 微滤预操作 :1μm工业陶瓷膜手机拦截大颗料硅,通量持续80LMH 亚铁离子调换硅橡胶 :D201大孔环氧树脂会抑制性树脂吸附硅酸团伙 二级考试RO系统软件 :首位段收购率60%,第三段用到高脱硼膜pcb板 EDI电去铁离子 :交流电容重2A/m²,坚持消除残余物铁离子 红外光谱除臭 :254nm红外光谱线的用药量40mJ/cm² 科技重点 开放多功能阻硅剂(有机化学胺类复合材料物),延长膜污染问题时间3倍 EDI功能信息化流道装修设计,硅清理率的提升至99.8% 迅雷在线硅分析一下仪(检测比率0.1-500μg/L)达成脱贫控住 作业取得成效 经第四方查重: 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼占比从8μg/L下降0.3μg/L 系统利用率从原40%改善至68% 膜更新定期延后至5年,年工作资金调低35%

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