该晶圆制造出厂应用于华东东南部东南部，主耍加工8屏幕尺寸半导体器件晶圆，每日废水处理工艺排放规范标准口量约800吨。因加工期间中用到一大批氢佛酸展开晶圆蚀刻，致使废水处理工艺中氟化物浓度值将高达200-300mg/L，远超发达国家排放规范标准口规范标准（10mg/L下列）。 废液组成成分及来原 生活污水重点是来自于这几个环节： 晶圆蚀刻生产工序 ：含高氧浓度氟化物（HF）、硝酸钠及大量血本属 有机化学厂家cnc精密机械加工（CMP）废液 ：含納米级硅顆粒、无机络合剂 的设备洗涤电镀废水 ：含异丙醇、高锰酸盐指数等有机的物 治理加工制作工艺 步奏 分为"有机化学发展+沥青混凝土发展+程度脱水"三阶段处里模式： 二级除理 ：加药系统氯化钙和氢氧化的钙，成型氟化钙奠定，氟化物祛除率达85% 一级解决 ：填加PAC（配位碱式氯化铝）和PAM（高密度聚乙烯酰胺），避开悬浊液态被污物 三级分销处里 ：利用多媒介过滤水器和活性氧炭吸咐，喷水氟化物溶度比较稳定在8mg/L以內 重要机械分为：pH自动化上下调整系统化、斜管沉定池、板框过滤机（淤泥脱水过滤）。 既定使用效果 该项目运转六年污染监测动态数据彰显： 氟化物差不多酸度：7.2mg/L（大于国要求） COD彻底清除率：92% 污水水分含量率：≤65% 年回报氟化钙副设备约150吨，建立市场化运用