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某大形半导体设备产出加工中小型企业主坐落在长江三角形省份,重要产出晶圆和集成电路芯片。在产出整个过程中,晶圆切工和增加光泽阶段中,出现更多抛光液工业废水,平均排出量约50吨。仍然工业废水底含有高溶液浓度浮窗物、金属材质铁离子及有机肥料调用剂,直观排出会对环保可能会导致情况严重生态破坏,中小型企业主急需用钱施工专业化补救安全设施。
焦化废水化学物质及來源
机磨液废水处理涉及到來出自于晶圆鑫霖环保中的化学上物理增加光泽(CMP)步骤,涉及到环境破坏物涉及到:
自动隐藏粒子物
:二阳极硫化硅、阳极硫化铝等精磨颗粒状,粒度在0.1-1μm,溶度可高达2000mg/L。
合金材料铁离子
:铜、铁、锌等,来自五湖四海镜面抛光垫偏磨及晶圆接触面金属材料层,铜正离子溶度约50mg/L。
有机的增长剂
:具有漆层抗逆性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸pH性有机化合物
:pH值下降大,经常在2-11范围内。
清理加工流程步骤
对应焦化废水属性,采用了“异常治疗+生化学+深层次治疗”乐队组合艺:
调理池
:平衡水质检测排水量,增长酸碱平衡调高pH至中性粒细胞。
沥青混凝土沉淀物中
:加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),我们要除漂浮物和悬浊液,沉降后SS我们要除率>90%。
催化反应被氧化
:利用Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料无机移除剂,COD剔除率达60%。
微生物操作
:MBR膜生物技术现象器进第一步光降解已用有机肥料物,COD降低100mg/L低于。
铁离子对换
:专业化树脂胶吸收铜阳离子,满水后铜水平<0.5mg/L。
砂滤+亲水性炭过滤清洁
:为了确保出液使水变,可达到《污水释放细则规范化释放细则规范》(GB8978-1996)第一细则规范。
结果实际效果
装置操作动态平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
回收率达40%,其他达到废气,年减小废水处理工艺废气1.5万吨。
正确处理价格约15元/吨,远不超餐饮行业年均。